[发明专利]半导体泵源壳体内的反射镜自动装配方法、装置及系统有效
| 申请号： | 202010880198.2 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112008356B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 张龙;杨向通 | 申请（专利权）人： | 无锡奥普特自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | B23P19/00 | 分类号： | B23P19/00;B05C5/02;B05C9/12;B05D3/06;G01L1/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214029 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体泵源激光设备控制技术领域，具体公开了一种半导体泵源壳体内的反射镜自动装配方法，其中，包括：向控制器发送取镜控制信号，取镜控制信号用于控制取镜机构向半导体泵源壳体内的通道装配反射镜；获取半导体泵源壳体内的通道状态数据；根据通道状态数据判断半导体泵源壳体内的通道是否均装配反射镜；若存在未装配反射镜的通道，则返回执行向控制器发送取镜控制信号的步骤；若半导体泵源壳体内的通道均装配反射镜，则输出结束信号。本发明还公开了一种半导体泵源壳体内的反射镜自动装配装置及系统。本发明提供的半导体泵源壳体内的反射镜自动装配方法提高了反射镜装配一致性，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 壳体 反射 自动 装配 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
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