[发明专利]MEMS器件及其封装结构和方法、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202010871606.8 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN114105076A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;张巍;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;H03H9/17;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS器件及其封装结构和方法。该封装结构包括：第一基底，具有第一限定面以及与第一限定面在基底的厚度方向上相对的第一非限定面；第二基底，具有第二限定面以及与第二限定面在基底的厚度方向上相对的第二非限定面，第一限定面表面与第二限定面彼此对置；第一金属密封层，设置在第一限定面；第二金属密封层，设置在第二限定面，第一与第二金属密封层彼此对置接合以形成密封圈结构，其中：第一与第二金属密封层在接合面处彼此接合，密封圈结构、第一限定面和第二限定面限定容纳空间，容纳空间适于容纳MEMS器件；密封圈结构还包括金属密封环，所述密封环包括处于接合面处的部分且密封环的内环面与所述容纳空间在水平方向上间隔开。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 及其 封装 结构 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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