[发明专利]二类超晶格双色红外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种二类超晶格双色红外探测器及其制备方法，二类超晶格双色红外探测器，包括：读出电路；衬底，与读出电路相对且间隔排布；阵列设置于读出电路与衬底之间的多个台面像元结构，从读出电路至衬底的方向上，台面像元结构依次包括第一N型结构层、P型中间层、第二N型结构层，第二N型结构层与衬底连接；每个第一N型结构层均通过一个第一电极与读出电路电连接，每个第二N型结构层均通过一个第二电极与读出电路电连接；衬底远离台面像元结构的一侧设有网状电极，每个P型中间层均通过一个第三电极与网状电极电连接，网状电极通过一个第四电极与读出电路电连接。采用本发明，可以降低二类超晶格双色红外探测器芯片单面电极点的密度，降低互连封装难度。