[发明专利]二类超晶格双色红外探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种二类超晶格双色红外探测器，其特征在于，包括：

读出电路；

衬底，与所述读出电路相对且间隔排布；

阵列设置于所述读出电路与所述衬底之间的多个台面像元结构，从所述读出电路至所述衬底的方向上，所述台面像元结构依次包括第一N型结构层、P型中间层、第二N型结构层，所述第二N型结构层与所述衬底连接；

每个所述第一N型结构层均通过一个第一电极与所述读出电路电连接，每个所述第二N型结构层均通过一个第二电极与所述读出电路电连接；

所述衬底远离所述台面像元结构的一侧设有网状电极，每个所述第二N型结构层对应设置一个第一贯通孔，从所述衬底至所述读出电路的方向上，所述第一贯通孔贯通所述第二N型结构层，在所述衬底上形成贯通衬底的第二贯通孔，每个第三电极的一端与所述网状电极电连接、另一端依次穿过所述第二贯通孔和所述第一贯通孔后与所述P型中间层电连接，第四电极位于多个所述台面像元结构的最外侧与所述读出电路电连接，所述第四电极与所述网状电极连接。

2.如权利要求1所述的二类超晶格双色红外探测器，其特征在于，所述网状电极限定出多个相互电连接的电极网格，每个所述电极网格下面对应一个台面像元结构，每个所述P型中间层通过一个第三电极与其对应的电极网格电连接。

3.如权利要求2所述的二类超晶格双色红外探测器，其特征在于，每个所述第二N型结构层对应设置一个第一贯通孔，从所述衬底至所述读出电路的方向上，所述第一贯通孔贯通所述第二N型结构层；

每个所述电极网格内对应设置一个贯通衬底的第二贯通孔；

每个所述第三电极的一端与一个电极网格电连接、另一端依次穿过所述第二贯通孔和所述第一贯通孔后与所述P型中间层电连接。

4.如权利要求2所述的二类超晶格双色红外探测器，其特征在于，所述网状电极包括：

矩形电极框，包括依次首尾连接的第一电极线、第二电极线、第三电极线和第四电极线，所述第一电极线和所述第三电极线均沿第一方向延伸，所述第二电极线和所述第四电极线均沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向垂直；

位于所述矩形电极框内且间隔排布的多条第五电极线，每条所述第五电极线均与所述第一电极线平行，且每条所述第五电极线的两端分别与所述第二电极线和所述第四电极线连接；

位于所述矩形电极框内且间隔排布的多条第六电极线，每条所述第六电极线均与所述第二电极线平行，且每条所述第六电极线的两端分别与所述第一电极线和所述第三电极线连接。

5.如权利要求4所述的二类超晶格双色红外探测器，其特征在于，所述第四电极的一端与所述矩形电极框电连接，所述第四电极的另一端与所述读出电路电连接。

6.如权利要求1所述的二类超晶格双色红外探测器，其特征在于，部分所述第二N型结构层超出所述P型中间层的边缘，所述第二电极的一端与该部分第二N型结构层电连接，所述第二电极的另一端与所述读出电路电连接。

7.如权利要求6所述的二类超晶格双色红外探测器，其特征在于，所述第二电极的中间段依次贴设于所述第一N型结构层外的钝化层以及所述P型中间层外的钝化层。

8.如权利要求1所述的二类超晶格双色红外探测器，其特征在于，所述第一N型结构层为长波N型结构层，所述第二N型结构层为中波N型结构层。