[发明专利]X射线探测器及其制备方法

摘要

本发明提供一种X射线探测器及其制备方法。探测器包括上下叠置的闪烁体层、第一可见光传感器层及第二可见光传感器层；第一可见光传感器层包括第一基板及多个第一像素单元，各第一像素单元包括第一薄膜晶体管及第一光电二极管；第二可见光传感器层包括第二基板及二维阵列排布于第二基板表面的多个第二像素单元，各第二像素单元包括第二薄膜晶体管及第二光电二极管；其中，第一可见光传感器层的有源区和第二可见光传感器层的有源区面积优选相同，多个第二像素单元的尺寸与多个第一像素单元的尺寸成整数倍关系，第一光电二极管与第二光电二极管在纵向上非完全重叠设置。本发明可以有效提升探测器的动态范围、MTF和DQE，由此提升探测器的成像质量。