[发明专利]一种针对大尺寸物体的高精度厚度测量方法及装置在审

专利信息
申请号: 202010817367.8 申请日: 2020-08-14
公开(公告)号: CN111735401A 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 张卫华;周涛;郑孝勇 申请(专利权)人: 深圳市兴华炜科技有限公司;苏州光韵达自动化设备有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 代理人: 王海骏
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种针对大尺寸物体的高精度厚度测量方法及装置,该方法包括采用两组点激光源分别朝被测物体的上、下表面发射斜向的第一激光、斜向的第二激光,进而获取第一激光在被测物体上所对应反射点的第一坐标、第二激光在被测物体上所对应反射点的第二坐标,以及第一激光与水平面所成夹角θ,进而计算第一坐标与预设定原点的水平偏移量△A,以及第二坐标与预设定原点的水平偏移量△B,即得被测物体的厚度H=|△A‑△B|*tag(θ),本方法适用于大平面或超大平面的中心点厚度测量、适用于多种形状的物体、厚度检测不会受到微小翘曲的干扰、无须设置相对测试基准。
搜索关键词: 一种 针对 尺寸 物体 高精度 厚度 测量方法 装置
【主权项】:
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