[发明专利]一种针对大尺寸物体的高精度厚度测量方法及装置在审
申请号: | 202010817367.8 | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN111735401A | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 张卫华;周涛;郑孝勇 | 申请(专利权)人: | 深圳市兴华炜科技有限公司;苏州光韵达自动化设备有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 | 代理人: | 王海骏 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种针对大尺寸物体的高精度厚度测量方法及装置,该方法包括采用两组点激光源分别朝被测物体的上、下表面发射斜向的第一激光、斜向的第二激光,进而获取第一激光在被测物体上所对应反射点的第一坐标、第二激光在被测物体上所对应反射点的第二坐标,以及第一激光与水平面所成夹角θ,进而计算第一坐标与预设定原点的水平偏移量△A,以及第二坐标与预设定原点的水平偏移量△B,即得被测物体的厚度H=|△A‑△B|*tag(θ),本方法适用于大平面或超大平面的中心点厚度测量、适用于多种形状的物体、厚度检测不会受到微小翘曲的干扰、无须设置相对测试基准。 | ||
搜索关键词: | 一种 针对 尺寸 物体 高精度 厚度 测量方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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