[发明专利]一种具有分裂栅结构的超级结MOS及其制备方法在审
| 申请号： | 202010772615.1 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN114068669A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 徐守一;赖银坤;蔡铭进 | 申请（专利权）人： | 厦门芯达茂微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/423;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 厦门加减专利代理事务所(普通合伙) 35234 | 代理人： | 王春霞 |
| 地址： | 361006 福建省厦门市湖里区火*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提出一种具有分裂栅结构的超级结MOS及其制备方法，其中，具有分裂栅结构的超级结MOS，包括cell区域，所述cell区域上设有Split Gate结构和Super Junction结构。本发明提供的分裂栅结构的超级结MOS，通过Split Gate和Super Junction相结合的结构设计，能够使得整个超级结MOS同时具备Split Gate和Super Junction的优点，可以有效降低MOS的Qg和R |
||
| 搜索关键词： | 一种 具有 分裂 结构 超级 mos 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门芯达茂微电子有限公司，未经厦门芯达茂微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010772615.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：儿童游乐设备
- 下一篇：一种洗涤设备杀菌方法及洗涤设备
- 同类专利
- 专利分类
