[发明专利]一种低噪声双面集成可注入生物光电极微探针及制备方法有效
| 申请号： | 202010748912.2 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111863776B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 张佰君;沈俊宇 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01L23/552 | 分类号： | H01L23/552;H01L33/38;A61N5/06 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 李思坪 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低噪声双面集成可注入生物光电极微探针及制备方法，微探针包括透明衬底、透明衬底正面的发光结构、透明衬底背面的记录电极结构和电磁屏蔽结构，所述记录电极结构与电磁屏蔽结构之间设有第一绝缘隔离层，所述记录电极结构包括记录电极、记录电极导线、记录电极焊盘和第一绝缘钝化层，所述记录电极通过记录电极导线与记录电极焊盘连接，所述第一绝缘钝化层上设有记录电极窗口、记录电极焊盘窗口和接地端窗口。该方法包括用于制备上述微探针结构的方法。通过使用本发明，可优化生物信号的记录质量。本发明作为一种低噪声双面集成可注入生物光电极微探针及制备方法，可广泛应用于生命科学半导体芯片领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 噪声 双面 集成 注入 生物 光电 极微 探针 制备 方法 | ||
【主权项】：
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