[发明专利]一种引线框架激光的曝光工艺在审
| 申请号： | 202010723079.6 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111640726A | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 黄伟;朱春阳;马伟凯;刘松源;段升红;李昌文;徐治;陈迅;秦小波;阮晓玲;刘琪 | 申请（专利权）人： | 山东新恒汇电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/495 | 分类号： | H01L23/495;H01L21/67;G03F7/16;G03F7/24 |
| 代理公司： | 淄博佳和专利代理事务所(普通合伙) 37223 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 255088 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种引线框架激光的曝光工艺，属于压膜设备技术领域。其特征在于：包括如下步骤：步骤1）通过压膜装置在引线框架（9）的两侧压制干膜（11）；步骤2）输入辊（3）与收卷辊（5）相配合，使引线框架（9）维持10~20kg的张力，平移装置带动引线框架（9）两侧的光学引擎（2）移动，并对引线框架（9）两侧的干膜（11）进行曝光；步骤3）平移装置带动光学引擎（2）对引线框架（9）的下一位置进行曝光，直至完成对整卷引线框架（9）的曝光。本引线框架激光的曝光工艺输入辊与收卷辊相配合使引线框架维持10~20kg的张力，既能够保证引线框架绷直，又能够避免对引线框架造成破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 引线 框架 激光 曝光 工艺 | ||
【主权项】：
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