[发明专利]表面形貌量测系统与方法在审
| 申请号： | 202010690199.0 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN113945168A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 潘世耀;丁之尧;林嘉宏;张馨匀 | 申请（专利权）人： | 致茂电子（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵晓荣 |
| 地址： | 215129 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种表面形貌检测系统与方法，所述表面形貌检测方法包含下列步骤。将测试光线分为第一子光线与第二子光线，第一子光线沿第一轴向入射反射镜，第二子光线沿第二轴向入射对象表面。移动反射镜，使反射镜于第一轴向上的不同位置反射第一子光线，以产生N个反射光。产生关联于反射自对象表面的第二子光线的对象反射光。产生关联于所述N个反射光以及对象反射光的N个影像，每一个影像包含多个干涉条纹。分析每一个影像中的所述多个干涉条纹，以计算出N个弦波曲线算式。由所述N个弦波曲线算式计算对象表面的表面形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 形貌 系统 方法 | ||
【主权项】：
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