[发明专利]一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩

摘要

本发明公开了一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩，包括保温罩，所述保温罩底部的中间设置有外导流罩，所述外导流罩的内侧设置有内导流罩，所述外导流罩外侧的顶部设置有封气环，所述保温罩顶部的一端设置有观察口，所述观察口内部顶部的一侧和底部的一侧设置有观察镜，所述保温罩顶部的中间设置有封闭阀，所述封闭阀的顶部设置有副室炉，所述保温罩顶部的两侧铰接有支撑架；本发明装置通过观察口和观察镜的配合下，使视野不受影响，方便工作人员时刻观察炉内单晶的生长情况以及水冷套水管的情况，在支撑架的作用下对副室炉其承托作用，防止副室炉倒塌，同时在取单晶棒时也起到承托的作用。