[发明专利]一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩

权利要求书

1.一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩，包括保温罩（1），其特征在于：所述保温罩（1）底部的中间设置有外导流罩（4），所述外导流罩（4）的内侧设置有内导流罩（3），所述外导流罩（4）外侧的顶部设置有封气环（2），所述保温罩（1）顶部的一端设置有观察口（5），所述观察口（5）内部顶部的一侧和底部的一侧设置有观察镜（6），所述保温罩（1）顶部的中间设置有封闭阀（9），所述封闭阀（9）的顶部设置有副室炉（7），所述保温罩（1）顶部的两侧铰接有支撑架（8）。

2.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩，其特征在于：所述观察镜（6）与水平方向呈45°夹角。

3.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩，其特征在于：两组所述支撑架（8）的两端设置有安装板，且安装板的两侧设置有通孔，且两组通孔之间设置有螺栓。

4.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩，其特征在于：所述封气环（2）为橡胶材料。

5.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩，其特征在于：所述支撑架（8）的顶部由半圆弧型结构制成。

6.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩，其特征在于：所述外导流罩（4）与内导流罩（3）之间设置有保温棉。

7.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩，其特征在于：所述观察口（5）处设置有防护玻璃。