[发明专利]一种应用于晶圆后处理的马兰戈尼干燥装置在审
| 申请号： | 202010663532.9 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111780537A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;申兵兵;李长坤;路新春 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/20 | 分类号： | F26B15/20;F26B21/00;F26B21/14;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于晶圆后处理的马兰戈尼干燥装置，包括：用于在晶圆从清洗液面倾斜升起的过程中向晶圆第一表面附着的弯液面喷射干燥气体的第一喷气杆和用于驱动第一喷气杆绕其轴线方向旋转的第一旋转驱动模块、以及向晶圆第二表面附着的弯液面喷射干燥气体的第二喷气杆和用于驱动第二喷气杆绕其轴线方向旋转的第二旋转驱动模块，其中，弯液面为气液固三相交界区域；第一喷气杆和第二喷气杆位于不同高度以使第一喷气杆喷射到晶圆第一表面的弯液面处的干燥气体浓度与第二喷气杆喷射到晶圆第二表面的弯液面处的干燥气体浓度相差比例不超过20％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 晶圆后 处理 马兰 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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