[发明专利]一种应用于晶圆后处理的马兰戈尼干燥装置

权利要求书

1.一种应用于晶圆后处理的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，包括：

用于在晶圆从清洗液面倾斜升起的过程中向晶圆第一表面附着的弯液面喷射干燥气体的第一喷气杆和用于驱动所述第一喷气杆绕其轴线方向旋转的第一旋转驱动模块、以及向晶圆第二表面附着的弯液面喷射干燥气体的第二喷气杆和用于驱动所述第二喷气杆绕其轴线方向旋转的第二旋转驱动模块，其中，所述弯液面为气液固三相交界区域；

所述第一喷气杆和所述第二喷气杆位于不同高度以使第一喷气杆喷射到晶圆第一表面的弯液面处的干燥气体浓度与第二喷气杆喷射到晶圆第二表面的弯液面处的干燥气体浓度相差比例不超过20％；

其中，第一喷气杆的外侧面距第二喷气杆的外侧面的距离不小于3mm；

所述第一喷气杆和所述第二喷气杆为结构相同的中空的喷气杆，喷气杆的底端距液面的垂直距离为5至15mm，喷气杆距晶圆最近的端点与晶圆的水平距离为5至10mm。

2.如权利要求1所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述第一喷气杆的位置高度高于所述第二喷气杆，所述第一喷气杆的轴心和所述第二喷气杆的轴心之间的连线方向与水平方向的夹角θ满足0°θ≤40°。

3.如权利要求2所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述第一喷气杆外侧面最接近晶圆处距晶圆第一表面的垂直距离l₁满足1mml₁≤15mm。

4.如权利要求3所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述第二喷气杆外侧面最接近晶圆处距晶圆第二表面的垂直距离l₂满足1mml₂≤15mm。

5.如权利要求4所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述第一喷气杆的气体喷射方向与水平方向的夹角为10°至80°，所述第二喷气杆的气体喷射方向与水平方向的夹角为10°至70°。

6.如权利要求2所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述喷气杆沿长度方向间隔设置有多个用于同时喷射干燥气体的喷气孔或者设置有细长狭缝。

7.如权利要求6所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述喷气孔的直径d₁不超过2mm，相邻的两个喷气孔之间的间距l₃不大于30mm。

8.如权利要求6所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述细长狭缝的长度l₄为300mm至400mm，其宽度d₂不超过1mm。