[发明专利]一种单行载流子光电探测器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种单行载流子光电探测器及其制作方法，光电探测器包括金刚石衬底、金属反射层、有源层和电极，金属反射层作为探测器的N型电极；制作方法包括：在InP衬底上生长外延层；将临时载片与InP片键合；去除InP衬底；在N‑InP次集结层上蒸发金属Ti/Pt/Au，在金刚石衬底上蒸发金属In，将探测器有源层转移至金刚石衬底上；去除临时载片；在P‑InGaAs接触层上形成P电极；腐蚀外延层，刻蚀金属反射层；沉积SiNx，通过刻蚀在P型电极和N型电极上形成窗口；溅射WTi，制作Au电极，以Au电极为掩膜，刻蚀WTi，得到UTC‑PD。本发明具有高散热能力、大带宽、高响应度以及高饱和输出功率的优点。