[发明专利]一种新型用于半导体生产的打磨装置有效

专利信息
申请号: 202010607801.X 申请日: 2020-06-29
公开(公告)号: CN111702655B 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 殷泽安;许同 申请(专利权)人: 东莞市译码半导体有限公司
主分类号: B24B37/10 分类号: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/20
代理公司: 北京高航知识产权代理有限公司 11530 代理人: 王卓
地址: 523581 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种新型用于半导体生产的打磨装置,包括半导体打磨机构,所述半导体打磨机构包括电机、电动伸缩杆和半导体片,所述半导体打磨机构还包括固定主体、固定架、打磨主体、转盘和安装主体,所述固定架的下端固定安装在固定主体的上端,所述打磨主体的上端固定连接在固定架上端内侧,所述转盘的下端外壁与固定主体滑动接触,所述转盘的下端中心固定连接在电机的转子上端,所述安装主体的下端滑动插接安装在固定主体的上端,所述电机、电动伸缩杆和半导体片匀通过外接电源电性连接,所述电机的外壳通过固定主体固定安装,所述电动伸缩杆的上端通过固定架固定安装。本发明能够提高空间利用率,同时保障了打磨质量,更好的满足使用需要。
搜索关键词: 一种 新型 用于 半导体 生产 打磨 装置
【主权项】:
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