[发明专利]一种隔离阀及半导体制造装置在审
| 申请号： | 202010419429.X | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111577915A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 金根浩;李俊杰;李琳;王佳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | F16K3/30 | 分类号： | F16K3/30;F16K3/314;F16K31/122;F16K31/126;F16K51/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种隔离阀及半导体制造装置，隔离阀包括阀体、阀轴、阀门和唇形密封圈，阀门设置在阀轴的第一端，阀轴通过阀体提供的动力带动阀门沿轴向运动，唇形密封圈设置在阀体的动力部件与目标部件的接触部位，目标部件为阀门移动时相较于动力部件运动的部件。这样，将隔离阀中原有的密封件由橡胶制的密封圈替换为唇形密封圈，由于隔离阀中的阀轴需要进行往复的运动来控制阀门开启或关闭，导致密封介质压力会随之变化。采用唇型密封圈进行密封时，唇形密封圈的密封压紧力是随介质压力的改变而变化的。可以通过唇部撑开、变形补偿小的磨损量，保证隔离阀的密封效果和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隔离 半导体 制造 装置 | ||
【主权项】：
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