[发明专利]一种显示面板的制作方法在审

专利信息
申请号: 202010401779.3 申请日: 2020-05-13
公开(公告)号: CN111584506A 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 邓永 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 唐秀萍
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种显示面板的制作方法,该方法包括:在衬底基板上依次制作半导体层、栅绝缘层、第一金属层以及光阻部;所述半导体层的材料为金属氧化物;通过所述光阻部对所述第一金属层和所述栅绝缘层进行图案化处理,以形成栅极并且将未被所述光阻部覆盖的半导体层裸露在外;对所述裸露在外的半导体层进行导体化处理,形成连接部以及在对所述裸露在外的半导体层进行导体化处理的同时使所述光阻部的外表面硬化,得到基底;采用预设气体对所述基底进行处理,以将硬化的光阻部去除;所述预设气体为含氟元素的特殊气体;将剩余的光阻部去除,以将栅极裸露在外。本发明能够在去除硬化的光阻层的同时提高半导体层的导电性能。
搜索关键词: 一种 显示 面板 制作方法
【主权项】:
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