[发明专利]一种薄膜沉积系统检测装置及方法在审
| 申请号： | 202010375404.4 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113624791A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 孙冰朔;屈芙蓉;吴朋桦;夏洋;李培源 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N23/20058 | 分类号： | G01N23/20058;G01N23/20008;C23C16/455;C23C16/52 |
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| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜沉积系统检测装置，包括：集成在所述原子层沉积系统上的发射模块和接收模块；其中，所述发射模块用于向所述原子层沉积系统的沉积腔室中发射电子束；所述接收模块包括集成在所述原子层沉积系统上的真空接收腔室、位于所述真空接收腔室内的荧光屏以及设置在所述真空接收腔室上的第一阀门；所述第一阀门用于开闭所述真空接收腔室，以使所述荧光屏在所述第一阀门开启时，可接收经所述沉积腔室中沉积的薄膜衍射的电子束，以及在所述第一阀门关闭时，使所述荧光屏密封在所述真空接收腔室内。可提高装置的检测性能，减少荧光屏的更换频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 沉积 系统 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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