[发明专利]一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉及其制作方法有效
| 申请号： | 202010363285.0 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111424314B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 马新星;王艺澄 | 申请（专利权）人： | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B11/02 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立 |
| 地址： | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉，包括制作炉炉体、合金炉、冷凝机及合金接受槽，合金炉包括炉体及石英坩埚、加热器、埚邦及埚托，石英坩埚外设有埚邦，石英坩埚的底端通过中空石墨托杆连接有坩埚升降、转动装置，炉体的底部还设有中空石英锥，炉体的上端设有合金炉惰性气体入口，炉体的下端设有合金炉排气孔；制作炉炉体上表面设有惰性气体入口，制作炉炉体的下表面设有制作炉排气孔；该制作炉结构简单，使用方便，制作镓硅合金的方法简单易行，该镓硅合金的制作有效提高了掺杂加入的可操作性及掺杂及的稳定性，提高了生产效率及掺杂准确性，有效减少了镓金属被污染或掉落流失而引起的质量风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 单晶硅 合金 制作 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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