[发明专利]一种RPS气体解离的漏气检测方法在审
| 申请号： | 202010352492.6 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111397810A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 徐远波;刘锐;陈杰 | 申请（专利权）人： | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01M3/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种RPS气体解离的漏气检测方法，包括：在反应腔内加工待加工工件；将所述反应腔设置在惰性气体中；向所述反应腔内通入氧气并点燃RPS气体，再检测所述反应腔内混合气体的发射光谱数据；至少多次稳定检测到代表气体的光谱大于参考值时判断反应腔漏气。本发明具有实时监测RPS气体解离时反应腔是否发生泄漏的能力，大大提高了检测的效率且降低了检测的难度，检测的实时性好，有效提高了RPS气体解离时的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 rps 气体 解离 漏气 检测 方法 | ||
【主权项】：
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