[发明专利]一种RPS气体解离的漏气检测方法在审
| 申请号： | 202010352492.6 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111397810A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 徐远波;刘锐;陈杰 | 申请（专利权）人： | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01M3/26 |
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| 地址： | 225000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 rps 气体 解离 漏气 检测 方法 | ||
1.一种RPS气体解离的漏气检测方法，其特征在于，包括：
在反应腔内加工待加工工件；
将所述反应腔设置在惰性气体中；
向所述反应腔内通入氧气并点燃RPS气体，再检测所述反应腔内混合气体的发射光谱数据；
至少多次稳定检测到代表气体的光谱大于参考值时判断反应腔漏气。
2.根据权利要求1所述的一种RPS气体解离的漏气检测方法，其特征在于，通入氧气后一定时间再点燃RPS气体，等所述反应腔内混合气体混合均匀后检测所述混合气体的光谱。
3.根据权利要求1所述的一种RPS气体解离的漏气检测方法，其特征在于，所述代表气体包括氮气或惰性气体。
4.根据权利要求3所述的一种RPS气体解离的漏气检测方法，其特征在于，当所述氮气为代表气体时，其的参考值为其氮气光谱峰值的至少33％、惰性气体光谱峰值的至少33％、二氧化碳光谱峰值的至少33％。
5.根据权利要求3所述的一种RPS气体解离的漏气检测方法，其特征在于，当所述惰性气体为代表气体时，其的参考值为其光谱峰值的至少50％。
6.根据权利要求1所述的一种RPS气体解离的漏气检测方法，其特征在于，还包括：在反应腔上设置有压力变送器，当所述反应腔内压力降低大于5%时，发出漏气报警。
7.根据权利要求1所述的一种RPS气体解离的漏气检测方法，其特征在于，所述惰性气体和所述氧气的纯度不低于99.99%。
8.根据权利要求1所述的一种RPS气体解离的漏气检测方法，其特征在于，所述待加工工件的加工包括化学刻蚀和化学气相沉积。
9.根据权利要求3所述的一种RPS气体解离的漏气检测方法，其特征在于，所述氮气的波长为316nm，337nm，355nm之一。
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