[发明专利]一种用于常压封装MEMS陀螺仪解调相角补偿的系统和方法

摘要

本发明公开了一种用于常压封装MEMS陀螺仪解调相角补偿的系统和方法，该系统包括陀螺仪驱动闭环回路、检测模态驱动与检测模块、补偿模块、信号检测模块；陀螺仪驱动闭环回路跟踪MEMS陀螺仪的驱动模态谐振频率ωx并产生ωx的正弦波信号sinωxt与sin(2ωxt)，并将sin(2ωxt)输出至补偿模块与检测模态驱动与检测模块；补偿模块基于sin(2ωxt)产生解调相角补偿量并输出至驱动闭环模块以产生相角补偿后的解调正弦波与信号检测模块基于与产生经补偿的哥氏输出信号与正交输出信号，经补偿的哥氏输出信号避免了正交输入信号的干扰。本发明基于陀螺仪力反馈检测梳齿可有效降低正交信号对哥氏信号的干扰，能够提升陀螺仪哥氏信号的噪声性能。