[发明专利]一种测量玻璃基板缺陷分层的装置和方法在审
| 申请号： | 202010300455.0 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111366593A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 方红义;吴亚平;林海峰;夏刚;陈涛涛;石志强;李震;李俊生 | 申请（专利权）人： | 芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京彩和律师事务所 11688 | 代理人： | 刘磊;闫桑田 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种测量玻璃基板缺陷分层的装置，所述装置包括，支撑机构、拍摄机构以及驱动机构，其中，所述支撑机构，用于设置所述拍摄机构；所述拍摄机构，包括第一拍摄机构和第二拍摄机构，所述第一拍摄机构的轴线与所述第二拍摄机构的中轴线重合；所述驱动机构，用于带动所述支撑机构移动。本申请还涉及一种测量玻璃基板缺陷分层的方法。根据本申请测量玻璃基板缺陷分层的装置，通过该装置可提高待测玻璃基板缺陷分层准确率，且抗干扰性强，价格便宜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 玻璃 缺陷 分层 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司，未经芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010300455.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体衬底清洗方法及调整方法
- 下一篇：一种土木工程用隧道支撑模板
