[发明专利]一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法有效
| 申请号： | 202010278686.6 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111534791B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 钱超;吴建 | 申请（专利权）人： | 常州高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;B08B3/08;B08B3/10;C09D127/18;C09D133/04;C09D171/10;C09D7/61;C09D7/63 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 竞存;徐冬涛 |
| 地址： | 213311 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，包括以下步骤：用清洗液对掩膜版表面进行清洗；将掩膜版置于流动的清水中冲洗，冲洗结束后沥干；将掩膜版浸泡在35‑45℃的无水乙醇中30‑60min，取出后，用鼓风机风干表面乙醇；利用喷涂的方式使纳米涂料均匀附着到掩膜版表面形成厚度为20‑40nm的纳米涂层，将表面喷涂有纳米涂料的掩膜版在室温下放置1‑3h后，再转移至加热装置中在65‑70℃下保温烘干即可，由于纳米涂层的存在，使得掩膜版使用寿命大大提高，可以反复蒸镀100次以上，而且在使用过程中，杜绝了由于有机材料或金属材料掉成片掉落的情况，蒸镀提高合格率，也不需要耗费大量时间来清洗掩膜版上残留的蒸镀材料，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 掩膜版 使用寿命 改善 质量 方法 | ||
【主权项】：
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