[发明专利]一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法

权利要求书

1.一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)用4-氨基苯硼酸、清洗助剂、去离子水组成的清洗液对掩膜版表面进行清洗，除去掩膜版表面的油渍、脏污、灰尘；

(2)将掩膜版置于流动的清水中冲洗，冲洗结束后沥干；

(3)将掩膜版浸泡在35-45℃的无水乙醇中30-60min，取出后，用鼓风机风干表面乙醇；

(4)利用喷涂的方式使纳米涂料均匀附着到掩膜版表面形成厚度为20-40nm的纳米涂层，所述纳米涂料由以下重量份数的原料组成：

(5)将表面喷涂有纳米涂料的掩膜版在室温下放置1-3h后，再转移至加热装置中在65-70℃下保温烘干即可；

所述含杂萘联苯结构的聚芳醚氰酮树脂的制备方法如下：

将4(3-苯基-4-羟基-苯基)-2H-二氮杂萘-1-酮、2,6-二氯苯腈、4,4-二羟基二苯甲酮、碳酸钾、二苯砜、甲苯加入反应瓶中，在反应瓶上架设分水器和冷凝管，升温至沸腾脱水，至无水蒸出后，继续反应5-10h后将反应液倒入40-50℃的热水中，静置1-3h后过滤，过滤得到的白色固体水洗后乙醇洗涤，30-40℃烘干即可。

2.如权利要求1所述的延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，所述清洗助剂为三聚磷酸钠与Antarox BL330、Antarox 17R4、Antarox 17R2、Antarox FM63中的至少一种复合而成。

3.如权利要求2所述的延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，所述清洗助剂为三聚磷酸钠与Antarox FM63按质量比1：1-1.6复合而成。

4.如权利要求1所述的延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，所述4-氨基苯硼酸、清洗助剂、去离子水的质量比为1：0.1-0.2：40-50。

5.如权利要求1所述的延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，在冲洗过程中清水流量为0.5-1L/min，冲洗时间20-40min。

6.如权利要求1所述的延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，4(3-苯基-4-羟基-苯基)-2H-二氮杂萘-1-酮、2,6-二氯苯腈、4,4-二羟基二苯甲酮、碳酸钾、二苯砜、甲苯的物质的量比为1：1：1：1.05-1.2：8-10：1.5-2。

7.如权利要求6所述的延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，4(3-苯基-4-羟基-苯基)-2H-二氮杂萘-1-酮、2,6-二氯苯腈、4,4-二羟基二苯甲酮、碳酸钾、二苯砜、甲苯的物质的量比为1：1：1：1.1：10：2。