[发明专利]一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法

说明书

本发明公开了一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，包括以下步骤：用清洗液对掩膜版表面进行清洗；将掩膜版置于流动的清水中冲洗，冲洗结束后沥干；将掩膜版浸泡在35‑45℃的无水乙醇中30‑60min，取出后，用鼓风机风干表面乙醇；利用喷涂的方式使纳米涂料均匀附着到掩膜版表面形成厚度为20‑40nm的纳米涂层，将表面喷涂有纳米涂料的掩膜版在室温下放置1‑3h后，再转移至加热装置中在65‑70℃下保温烘干即可，由于纳米涂层的存在，使得掩膜版使用寿命大大提高，可以反复蒸镀100次以上，而且在使用过程中，杜绝了由于有机材料或金属材料掉成片掉落的情况，蒸镀提高合格率，也不需要耗费大量时间来清洗掩膜版上残留的蒸镀材料，提高了生产效率。

技术领域

本发明掩膜版技术领域，具体涉及一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法。

背景技术

近年来，作为平板显示器，液晶显示装置或具备有机电致发光元件的显示装置受到瞩目。液晶显示装置的电力消耗少，但是为了获得明亮的画面，需要外部照明(背光)。对此，具备有机电致发光元件的显示装置的有机电致发光元件是自发光型的元件，因此不需要像液晶显示装置那样的背光。因此，具备有机电致发光元件的显示装置在具有省电特征的同时，还具有高辉度和广视角的特征。

有机电致发光元件在阳极和阴极间具备含有由有机化合物构成的发光层的功能层。作为形成这种功能层的方法，已知有真空蒸镀法等气相法、使用功能层形成材料溶解或分散于溶剂中而得的溶液的液相法。

通过真空蒸镀形成功能层的情况下，使掩膜版靠近基板，介由掩膜版对阴极、空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、阳极各层进行图案形成。此时使用的特别是用于RGB层的细微图案化的蒸镀用掩膜版非常精密，因此难以制造且非常昂贵。但是，在有机EL元件的有机层的图案形成中，如果多次使用同一掩膜版进行蒸镀，则有机物在掩膜版上堆积并附着，蒸镀质量随着蒸镀次数的增加而下降，无法准确地将精密的掩膜版图案转印至基板，为了实现高度精密的掩膜版图案，一般都要对掩膜版进行清洗，但是掩膜版清洗流程复杂，需要耗费大量时间，为此很多厂家为了赶工期，不得不废弃仅仅使用了十数次的昂贵的掩膜版，造成生产成本的提高和资源的极大浪费。

发明内容

发明目的：针对上述技术问题，本发明提供了一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法。

为了达到上述发明目的，本发明所采用的技术方案如下：

一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，包括以下步骤：

(1)用4-氨基苯硼酸、清洗助剂、去离子水组成的清洗液对掩膜版表面进行清洗，除去掩膜版表面的油渍、脏污、灰尘；

(2)将掩膜版置于流动的清水中冲洗，冲洗结束后沥干；

(3)将掩膜版浸泡在35-45℃的无水乙醇中30-60min，取出后，用鼓风机风干表面乙醇；

(4)利用喷涂的方式使纳米涂料均匀附着到掩膜版表面形成厚度为20-40nm的纳米涂层，所述纳米涂料由以下重量份数的原料组成：

(5)将表面喷涂有纳米涂料的掩膜版在室温下放置1-3h后，再转移至加热装置中在65-70℃下保温烘干即可。

进一步地，所述清洗助剂为三聚磷酸钠与Antarox BL330、Antarox 17R4、Antarox17R2、Antarox FM63中的至少一种复合而成。

进一步地，所述清洗助剂为三聚磷酸钠与Antarox FM63按质量比1：1-1.6复合而成。

进一步地，所述4-氨基苯硼酸、清洗助剂、去离子水的质量比为1：0.1-0.2：40-50。

进一步地，在冲洗过程中清水流量为0.5-1L/min，冲洗时间20-40min。