[发明专利]一种半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置在审
| 申请号： | 202010262526.2 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113495813A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;张乾 | 申请（专利权）人： | 海太半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G06F11/22 | 分类号： | G06F11/22 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，包括老旧半导体设备、设备数据接口系统、设备测试结果文件、实时数据传输客户端、实时数据传输平台、一体化电算平台，设备数据接口系统，老旧半导体设备的数据接口通过设备数据接口系统与实时数据传输客户端的数据传输端口连接。本发明系统模块化，降低系统的耦合度，复杂度，保障系统稳定性；重要系统采用集群配置，保障系统稳定性；设备端直接获取测试结果数据，进行自动电算，自动打印标签；一体机平台也可以完成汇总数据显示，集中电算的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 设备 实时 数据 收集 自动 电算 装置 | ||
【主权项】：
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