[发明专利]一种半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置

说明书

本发明提供一种半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，包括老旧半导体设备、设备数据接口系统、设备测试结果文件、实时数据传输客户端、实时数据传输平台、一体化电算平台，设备数据接口系统，老旧半导体设备的数据接口通过设备数据接口系统与实时数据传输客户端的数据传输端口连接。本发明系统模块化，降低系统的耦合度，复杂度，保障系统稳定性；重要系统采用集群配置，保障系统稳定性；设备端直接获取测试结果数据，进行自动电算，自动打印标签；一体机平台也可以完成汇总数据显示，集中电算的功能。

技术领域

本发明主要涉及半导体数据集合领域，尤其涉及一种半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置。

背景技术

目前数据收集及电算管理的方式：

a)存在部分数据自动收集，但电算所需数据还是人为手动记录；

b)电算根据手工记录数据，单独在系统(HIBIM)内完成；

当前设备自动收集的数据不能对应每一片资材的测试结果，而设备测试结果文件的数据也不能保证准确性，且以上过程存在人为失误的风险，并且效率低下。

已公开中国实用新型专利，申请号CN201721003057.2，专利名称：一种半导体设备数据采集装置及系统，申请日：2017-08-11，本发明涉及一种半导体设备数据采集装置及系统，包括：设置于若干无通讯功能的设备中的传感器；具有电压输出类型传感器接口、电压模数转换模块、电流输出类型传感器接口、电流模数转换模块、数字输出类型传感器接口、逻辑运算模块及通讯模块的半导体设备数据采集装置，各传感器接口连接相应传感器；连接于半导体设备数据采集装置通讯端口的串口转以太网单元；与串口转以太网单元连接，进行逻辑处理、数据存储、指令传输的逻辑处理单元；以及客户端。本发明基于“一对多”的串口通讯方式，通过选用温度、压力、湿度等不同种类的传感器接入无通讯功能的半导体设备上的不同位置，达到能够收集多设备多位置多数据的目的，具有广泛的适用性。

发明内容

针对现有技术的上述缺陷，本发明提供一种半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，包括老旧半导体设备、设备数据接口系统、设备测试结果文件、实时数据传输客户端、实时数据传输平台、一体化电算平台，

所述设备数据接口系统，老旧半导体设备的数据接口通过设备数据接口系统与实时数据传输客户端的数据传输端口连接；

实时数据传输客户端，内设置有实时数据传输平台和一体化电算平台，所述实时数据传输平台通过制造执行系统与老旧半导体设备进行数据传输，所述一体化电算平台直接与老旧半导体设备进行数据传输并通过制造执行系统反馈至实时数据传输客户端；

所述实时数据传输客户端，接收来自半导体老旧设备的本地设备测试结果文件的数据并对其变化监控；

所述实时数据传输平台，内置于实时数据传输客户端，通过设备数据接口系统还实时收集设备实时测试数据，并与MES系统交互；

所述设备测试结果文件，是指解析保存的程序。

优选的，本地设备测试结果文件是指电气性能测试设备与系统数据交互的历史数据。

优选的，一体化电算平台接收来自老旧半导体设备内的测试结果数据进行电算。

优选的，实时数据传输客户端的数据传输端连接有标签打印机的数据输入端。

优选的，实时数据传输客户端实时收集增量数据，包括开始及结束时的测试信息，发送给系统进行分析。

优选的，一体化电算平台上连接有显示器。

优选的，一体化电算平台扫描老旧半导体设备内的存储卡内的信息。

本发明的有益效果：