[发明专利]一种半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置

权利要求书

1.一种半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，其特征在于，包括老旧半导体设备、设备数据接口系统、设备测试结果文件、实时数据传输客户端、实时数据传输平台、一体化电算平台，

所述设备数据接口系统，老旧半导体设备的数据接口通过设备数据接口系统与实时数据传输客户端的数据传输端口连接；

所述实时数据传输客户端，内设置有实时数据传输平台和一体化电算平台，所述实时数据传输平台通过制造执行系统与老旧半导体设备进行数据传输，所述一体化电算平台直接与老旧半导体设备进行数据传输并通过制造执行系统反馈至实时数据传输客户端；

所述实时数据传输客户端，接收来自半导体老旧设备的本地设备测试结果文件的数据并对其变化监控；

所述实时数据传输平台，内置于实时数据传输客户端，通过设备数据接口系统还实时收集设备实时测试数据，并与MES系统交互；

所述设备测试结果文件，是指解析保存的程序。

2.根据权利要求1所述的半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，其特征在于：所述本地设备测试结果文件是指电气性能测试设备与系统数据交互的历史数据。

3.根据权利要求2所述的半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，其特征在于：所述一体化电算平台接收来自老旧半导体设备内的测试结果数据进行电算。

4.根据权利要求3所述的半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，其特征在于：所述实时数据传输客户端的数据传输端连接有标签打印机的数据输入端。

5.根据权利要求4所述的半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，其特征在于：所述实时数据传输客户端实时收集增量数据，包括开始及结束时的测试信息，发送给系统进行分析。

6.根据权利要求5所述的半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，其特征在于：所述一体化电算平台上连接有显示器。

7.根据权利要求6所述的半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，其特征在于：所述一体化电算平台扫描老旧半导体设备内的存储卡内的信息。