[发明专利]微机电系统(MEMS)反射镜的同步有效
| 申请号： | 202010250301.5 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111796417B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | N·德鲁梅尔;P·格雷纳;B·基里洛夫;I·马克西默瓦;M·斯兰科沃;H·范利罗普 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 黄倩 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例总体上涉及用于微机电系统反射镜的同步的方法和系统。一种多反射镜系统，包括第一反射镜，其被配置为围绕第一轴线振荡；第二反射镜，其被配置为围绕第二轴线振荡；第一驱动器，其被配置为驱动第一反射镜的振荡，检测第一反射镜的第一过零事件，并且基于检测的第一过零事件来生成第一位置信号；第二驱动器，其被配置为驱动第二反射镜的振荡，检测第二反射镜的第二过零事件，并且基于检测的第二过零事件来生成第二位置信号；以及同步控制器，其被配置为接收第一位置信号和第二位置信号，并且基于第一位置信号和第二位置信号来分别使第二反射镜的振荡的相位或频率中的至少一个与第一反射镜的振荡的相位或频率中的至少一个同步。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 反射 同步 | ||
【主权项】：
暂无信息
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