[发明专利]微机电系统(MEMS)反射镜的同步

权利要求书

1.一种多反射镜系统，包括：

第一反射镜，其被配置为围绕第一轴线振荡；

第二反射镜，其被配置为围绕第二轴线振荡；

第一驱动器，其被配置为驱动所述第一反射镜的振荡，检测所述第一反射镜的第一过零事件，并且基于所检测的第一过零事件来生成第一位置信号，在所述第一过零事件中所述第一反射镜的振荡角度处于预先定义的角度；

第二驱动器，其被配置为驱动所述第二反射镜的振荡，检测所述第二反射镜的第二过零事件，并且基于所检测的第二过零事件来生成第二位置信号，在所述第二过零事件中所述第二反射镜的振荡角度处于所述预先定义的角度；以及

同步控制器，其被配置为接收所述第一位置信号和所述第二位置信号，并且基于所述第一位置信号和所述第二位置信号来分别使所述第二反射镜的振荡的相位或频率中的至少一个与所述第一反射镜的振荡的相位或频率中的至少一个同步。

2.根据权利要求1所述的多反射镜系统，其中所述同步控制器包括：

相位频率检测器，其被配置为接收所述第一位置信号和所述第二位置信号并且基于所述第一位置信号和所述第二位置信号来生成控制信号；以及

环路滤波器，其被配置为基于所述控制信号来生成致动值，并且将所述致动值传输到所述第二驱动器。

3.根据权利要求2所述的多反射镜系统，其中所述第二驱动器被配置为接收所述致动值，并且基于所述致动值来控制所述第二反射镜的致动，使得所述第二反射镜的所述振荡的所述相位或所述频率中的至少一个分别与所述第一反射镜的所述振荡的所述相位或所述频率中的至少一个同步。

4.根据权利要求3所述的多反射镜系统，其中所述第一反射镜的所述频率与所述第二反射镜的所述频率具有预先定义的分数关系，其中所述预先定义的分数关系不等于1。

5.根据权利要求4所述的多反射镜系统，其中所述同步控制器还包括：

第一除法器，其被配置为将所述第一位置信号的频率除以第一整数；以及

第二除法器，其被配置为将所述第二位置信号的频率除以第二整数，其中所述第一整数和所述第二整数的比例抵消所述第一位置信号和所述第二位置信号中的所述预先定义的分数关系，

其中所述相位频率检测器被配置为接收经分频的所述第一位置信号作为所述第一位置信号并且接收经分频的所述第二位置信号作为所述第二位置信号。

6.根据权利要求1所述的多反射镜系统，还包括：

相位检测器，其被配置为接收所述第一位置信号和所述第二位置信号，并且测量所述第一位置信号与所述第二位置信号之间的相位差；以及

利萨如帧起始检测器，其被配置为接收所测量的相位差并且基于所测量的相位差来确定利萨如帧的起始。

7.根据权利要求6所述的多反射镜系统，其中所述第一反射镜的所述频率与所述第二反射镜的所述频率具有预先定义的分数关系，其中所述预先定义的分数关系不等于1，并且所述同步控制器还包括：

第一除法器，其被配置为将所述第一位置信号的频率除以第一整数；以及

第二除法器，其被配置为将所述第二位置信号的频率除以第二整数，其中所述第一整数和所述第二整数的比例抵消所述第一位置信号与所述第二位置信号之间的预先定义的分数关系；

其中所述相位检测器被配置为接收经分频的所述第一位置信号作为所述第一位置信号并且接收经分频的所述第二位置信号作为所述第二位置信号。

8.根据权利要求1所述的多反射镜系统，其中

第一驱动器被配置为在所述第一过零事件中的每个第一过零事件处触发所述第一位置信号的改变，使得所述第一位置信号指示所述第一反射镜的所述振荡的所述频率和相位，以及

第二驱动器被配置为在所述第二过零事件中的每个第二过零事件处触发所述第二位置信号的改变，使得所述第二位置信号指示所述第二反射镜的所述振荡的所述频率和相位。