[发明专利]一种高频声波谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010244235.0 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111416590B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;郑鹏程;张师斌;周鸿燕;黄凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10;H03H9/64 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种高频声波谐振器及其制备方法，该高频声波谐振器包括：高声速支撑衬底；绝缘介质层，绝缘介质层位于高声速支撑衬底的上表面；压电膜，压电膜位于绝缘介质层的上表面；叉指电极，叉指电极位于压电膜的上表面。通过在压电膜下方设置高声速支撑衬底可以增大压电膜中所激发传播的目标弹性波的声速，并可有效约束目标弹性波的传播，提高高频声波谐振器的谐振频率；通过在压电膜与高声速支撑衬底之间设置绝缘介质层，可以有效降低压电膜中电场能量的泄露，可增强高频声波谐振器的机电耦合系数；通过选择合适的绝缘介质层，可以对高频声波谐振器进行温度补偿，降低高频声波谐振器的温漂，提高高频声波谐振器的温度稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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