[发明专利]一种耐火材料表面沉积碳化硅的装置

摘要

本发明涉及无机非金属材料制备技术领域，具体涉及一种耐火材料表面沉积碳化硅的装置。该装置包括壳体、底盘和封盖；所述壳体为圆柱体或多面体；所述壳体包括外壳和内壳，以及设置于内壳和外壳之间的加热装置；所述底盘设置于所述壳体的下底面，所述底盘与壳体密封连接；所述封盖设置于所述壳体的上底面，所述封盖与壳体之间为活动连接；所述底盘上设有若干个进气装置，所述封盖上设有若干个排气装置。本发明解决了当沉积碳化硅的装置内需完成多个产品的碳化硅涂层沉积工作，且各产品的技术要求均不相同的问题。本发明通过设置可调整通入喷嘴的进气量和反应气种类，使沉积在待沉积耐火材料表面的碳化硅涂层可根据不同要求进行调整。