[发明专利]一种双偏振输出量子密钥分发光源及其制备方法有效
| 申请号： | 202010177597.2 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111341890B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 曲迪;余竞航;白国人;王磊;陈帅;陈景春 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/06;H01L33/24;H01L33/48;H01L33/58;H01L33/62;H04L9/08 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 蒙建军 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双偏振输出量子密钥分发光源及其制备方法，属于半导体技术领域，其特征在于，至少包括如下步骤：S1、以LED外延片为衬底，首先制备5～10微米宽的分隔槽，进而将芯片分为两个独立的发光区域，并填充绝缘介质进行隔离；S2、外延片衬底上制备二氧化硅隔离层，并在发光区域周围腐蚀出电极接触区域；制备出两块金属电极，用于实现两个分区域的分别导通；S3、以上述分隔槽为轴，两边各取一个半圆形区域制备金属线栅，组成圆形发光区域，上述圆形发光区域的直径在20～100微米，两边线栅的方向相差45°；S4、最后制备出微透镜，使两种偏振态的输出光汇聚。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 输出 量子 密钥 分发 光源 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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