[发明专利]封装固体高纯金属有机化合物的容器及其应用

摘要

本发明涉及封装固体高纯金属有机化合物的容器及其应用，瓶体内设置有烧结片，将内腔分隔为上腔以及下腔，上腔的容积大于下腔的容积；瓶体顶部具有加料口，加料口与上腔连通；进气管进入到上腔与其连通，其进气口具有用于对载气气流导向的气流导向结构；出气管进入到下腔与其连通。应用于MOCVD时，使载气与固体源有极大的接触面积，出气管中可得到饱和稳定的蒸气压，能够提供稳定、饱和的蒸气用于MOCVD制程设备，不仅满足后道气相沉积工序的工艺要求，较大增加载气与固体源接触的表面积，使得容器内固体源的利用率显著提高。