[发明专利]单质量块三轴MEMS惯性加速度计及其制备方法有效
| 申请号： | 202010135124.6 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN111323616B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 赵成;杨义军;朱骏;郭鹏飞;王健 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18;B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东;陈栋智 |
| 地址： | 225000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；空腔结构层底面四边的空腔基板底面键合环与底板顶面四边的底板键合环金金键合，悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面四边的空腔基板顶面键合环金硅键合，使各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，顶板底面四边的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用单质量块惯性敏感方式和平面平行板电容检测方式，总体结构简单、制备过程简便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 单质 量块 mems 惯性 加速度计 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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