[发明专利]嵌入T线圈内的峰化电感器在审
| 申请号： | 202010120404.X | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111755415A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 文卡塔·N·R·法努卡鲁;U·K·舒克拉;S·托加尔 | 申请（专利权）人： | 格芯公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 英属开曼群*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及嵌入T线圈内的峰化电感器，揭示包括峰化电感器及T线圈的结构，以及与形成此类结构关联的方法。后端工艺互连结构包括第一金属化层级、第二金属化层级，以及设置于该第一金属化层级与该第二金属化层级之间的第三金属化层级。该T线圈包括具有设置于该第一金属化层级中的第一线圈的第一电感器以及具有设置于该第二金属化层级中的第二线圈的第二电感器。峰化电感器包括设置于该第三金属化层级中的线圈。该第一电感器的该第一线圈、该第二电感器的该第二线圈，以及该峰化电感器的该线圈以叠置布置堆叠于该后端工艺互连结构中。 | ||
| 搜索关键词： | 嵌入 线圈 电感器 | ||
【主权项】：
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