[发明专利]制造存储器装置的方法

摘要

提供了一种制造存储器装置的方法。该方法包括以下步骤：在基底上形成多条下导电线；在所述多条下导电线上形成多个存储器单元；形成限定多条第一线的开关堆叠件，所述多条第一线在多个存储器单元上沿第一方向平行地延伸；在开关堆叠件上形成上导电层；形成限定多条第二线的蚀刻掩模，所述多条第二线在上导电层上沿第二方向平行地延伸，第二方向与第一方向不同；通过使用蚀刻掩模蚀刻上导电层和开关堆叠件来形成多条上导电线和多个开关单元。