[发明专利]半导体晶圆离子注入扫描机器人有效
| 申请号： | 202010081540.2 | 申请日： | 2020-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN111755307B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 金昌永;崔永;张日焕;孙容宣;诸健镐;崔文寿 | 申请（专利权）人： | 耐贝尔株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李兰;孙志湧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体晶圆离子注入扫描机器人，其包括：L1轴，垂直地结合在第一连杆的一侧，凭借第一驱动单元的驱动驱使所述第一连杆旋转；L2轴，在所述第一连杆的上部叠上其长度和所述第一连杆相同的第二连杆，垂直地结合在所述第一连杆的另一侧及叠在其上的所述第二连杆的一侧并且凭借第二驱动单元的驱动驱使所述第二连杆旋转；R轴，在所述第二连杆的另一侧上部叠上支持扫描头的支撑架，垂直地结合在所述第二连杆的另一侧与所述支撑架的中央并且凭借第三驱动单元的驱动驱使所述支撑架旋转；及Y轴，水平地结合在所述支撑架并支持所述扫描头的两侧，凭借第四驱动单元的驱动驱使所述扫描头旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 离子 注入 扫描 机器人 | ||
【主权项】：
暂无信息
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