[发明专利]半导体装置及半导体装置的制造方法在审

专利信息
申请号: 202010053208.5 申请日: 2020-01-17
公开(公告)号: CN112436003A 公开(公告)日: 2021-03-02
发明(设计)人: 沓掛弘之;赤穂雅之 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H01L27/088 分类号: H01L27/088;H01L29/78;H01L21/336
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 张世俊
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式提供一种能够抑制晶体管的阱耐压劣化,且减少元件面积的半导体装置及半导体装置的制造方法。一实施方式的半导体装置具备:第2导电型的半导体衬底,是包含第1面的半导体衬底,且包含第1面侧的第1导电型的第1区域、在第1区域的第1面侧排列在沿着第1面的第1方向的第2导电型的2个第2区域、及包围第1区域且具有低于第1区域的第1面中的第1导电型杂质的浓度的第1导电型杂质的浓度的第1导电型的第3区域;导电体层,设置在第1区域中2个第2区域之间的第1部分的上方;以及第1绝缘体层,在半导体衬底的第1面侧,包围第3区域且与第3区域相接。第1区域中沿着第1方向而与第1部分排列的第2部分在第1区域的第1面侧,未由绝缘体层夹着而沿着第1方向延伸。
搜索关键词: 半导体 装置 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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