[发明专利]沉积设备和用于监测沉积设备的方法在审
| 申请号： | 201980090404.5 | 申请日： | 2019-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN113366605A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 约阿希姆·松嫩申;丹尼尔·谢弗-科皮托;托拜西·伯格曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于在基板上沉积材料的沉积设备(100)。所述沉积设备包括阴极组件(10)。所述沉积设备包括冷却剂接收壳体(20)，所述冷却剂接收壳体用于接收冷却剂(22)以冷却所述阴极组件。所述沉积设备包括传感器(30)，所述传感器布置在所述冷却剂接收壳体(20)外部以检测所述冷却剂从所述冷却剂接收壳体的泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 用于 监测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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