[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201980065656.2 | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN112805838A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 佐藤来;神长正美;土桥正佳;白石孝;斋藤晓;中泽安孝 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;G02F1/1368;H01L21/28;H01L21/336;H01L27/32;H01L51/50 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 宋俊寅 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种电特性的良好的半导体装置。提供一种可靠性高的半导体装置。本发明是一种半导体装置,包括半导体层、第一绝缘层、第二绝缘层、金属氧化物层以及导电层,其中第一绝缘层、金属氧化物层及导电层依次层叠在半导体层上,第一绝缘层的端部位于半导体层的端部的内侧,金属氧化物层的端部位于第一绝缘层的端部的内侧,导电层的端部位于金属氧化物层的端部的内侧。第二绝缘层优选以覆盖半导体层、第一绝缘层、金属氧化物层及导电层的方式设置。半导体层优选具有第一区域、一对第二区域以及一对第三区域,第一区域优选与第一绝缘层及金属氧化物层重叠,第二区域优选夹持第一区域与第一绝缘层重叠且不与金属氧化物层重叠,第三区域优选夹持第一区域及一对第二区域且不与第一绝缘层重叠,第三区域优选与第二绝缘层接触。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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