[发明专利]用于测量颗粒的方法和设备在审
| 申请号： | 201980059751.1 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN112703576A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 阿米尔·A·亚西尔;吉里什·M·洪迪;约翰·迈克尔·克恩斯;杜安·奥特卡;约翰·多尔蒂;克利夫·拉克鲁瓦 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种用于测量部件的关键表面上的污染的设备。提供了用于安装所述部件的容器。惰性气体源与所述容器流体连接且适用于提供惰性气体到所述容器。至少一个扩散器接收来自所述容器的所述惰性气体，其中当所述部件安装在所述容器中时，所述部件的所述关键表面暴露于所述惰性气体。至少一个分析器适用于接收来自所述至少一个扩散器的所述惰性气体且测量所述惰性气体中的污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 颗粒 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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