[发明专利]光学测量装置以及光学测量方法在审
申请号: | 201980058003.1 | 申请日: | 2019-10-21 |
公开(公告)号: | CN112654834A | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 髙嶋润;金谷义宏 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G01C3/06 | 分类号: | G01C3/06;G01B11/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本京都府京都市下京区盐小路通堀川东入*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明自受光量分布信号获得测定波形信号。光学测量装置100包括:光源10,向对象物TA发出光;受光部40,以多个像素各自可检测受光量的方式构成,且获得每个像素的受光量分布信号;获取部51,基于不存在对象物TA时的受光量分布信号,自利用对象物TA所反射的反射光的受光量分布信号获取测量波形信号MS;以及调整部53,在反射光的受光量分布信号的一部分受光量为规定值以上时,以获取测量波形信号MS的方式,调整对于反射光的受光量分布信号的感度参数。 | ||
搜索关键词: | 光学 测量 装置 以及 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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