[发明专利]感光性树脂组合物、具有图案的树脂膜的制造方法、具有图案的树脂膜、及半导体电路基板在审
| 申请号： | 201980047806.7 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN112424692A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 山口虎彦;菅野贵美幸;多田罗了嗣;门田敏明;一二三辽祐;穴吹翔马 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;C08G65/40;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种感光性树脂组合物，含有聚合物(A)、交联剂(B)及光阳离子产生剂(C)，所述聚合物(A)具有下述式(a1)所表示的末端基、以及下述式(a2)所表示的重复结构单元。[式(a1)及式(a2)中，Y表示通过利用光照射而由所述光阳离子产生剂(C)产生的阳离子的作用，与所述交联剂(B)反应的反应性基；X分别独立地表示氧原子、硫原子、酯键、酰胺键或‑SO |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 具有 图案 制造 方法 半导体 路基 | ||
【主权项】：
暂无信息
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