[发明专利]MEMS器件的制造方法及MEMS器件在审
| 申请号： | 201980037632.6 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN112292345A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 铃木裕辉夫;田中秀治;塚本贵城 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东北大学 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00;B81B3/00;H01L23/02;H01L23/08 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可提高活动空间内部的真空度，可降低制造成本以及制造装置的引入及维护成本的MEMS器件的制造方法及MEMS器件。所述MEMS器件具有MEMS器件晶圆11及CAP晶圆12，所述MEMS器件晶圆在Si基板11a上形成有活动元件21，所述CAP晶圆12以形成活动空间13且覆盖所述MEMS器件晶圆11的方式而设置，所述活动元件21以可动的方式收纳于所述活动空间13中。CAP晶圆12为硅制，并具有以与活动空间13连通的方式形成的通气孔23。以将CAP晶圆12与MEMS器件晶圆11接合的状态，在氢气氛围中进行热处理，通过CAP晶圆12的硅的表面迁移来堵塞通气孔23，由此将活动空间13密封。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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