[发明专利]Cu-Ni合金溅射靶在审
| 申请号： | 201980022696.9 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN111936660A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 加藤慎司;井尾谦介 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C9/06;C22C19/03;C22F1/08;C22F1/10;C22C1/04;C22F1/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刁兴利;康泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种Cu‑Ni合金溅射靶，其包含Ni，且其余部分由Cu和不可避免的杂质组成，其中，当将在相邻的晶粒之间的取向差在5°以上且180°以下的范围内的晶粒之间所形成的晶界的长度设为总晶界长度L，并将使面心立方晶格的(111)面及(110)面作为旋转轴旋转的情况下分别确认到3个晶格点的取向差的晶界的长度设为孪晶晶界长度L |
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| 搜索关键词： | cu ni 合金 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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