[发明专利]用于镀层掩模的可固化组合物、掩模材料、和去除镀层的方法有效
| 申请号： | 201980010070.6 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN111655902B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 安达美规;光田健洋 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00;C09D4/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李博 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 问题：提供一种用于镀层掩模的可固化组合物，该可固化组合物能够以各种图案形状容易地形成对镀层去除剂具有改善的耐化学性的掩模材料。解决方案：一种用于镀层掩模的可固化组合物，所述可固化组合物包含单体成分，所述单体成分包含具有(甲基)丙烯酰基基团和酸性官能团的第一单体以及具有(甲基)丙烯酰基基团和苯环的第二单体；以及光聚合引发剂。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 镀层 固化 组合 材料 去除 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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