[发明专利]垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 201980001906.6 | 申请日： | 2019-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN110603696A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 崔元珍;金东焕;金克 | 申请（专利权）人： | 雷伊株式会社 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/22 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 吕琳;宋东颖 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实施例公开了一种垂直腔面发射激光器，上述垂直腔面发射激光器包括：基板；下部反射层，其布置于上述基板上；激光腔，其布置于上述下部反射层上，并且包括有源层；氧化层，其布置于上述激光腔上；上部反射层，其布置于上述氧化层上；多个第一孔，其形成于上述上部反射层和上述氧化层；以及上部电极，其布置于上述多个第一孔的内部和上述上部反射层上，上述氧化层包括相隔开布置的多个透光区域，上述多个第一孔在平面上以包围上述透光区域的方式布置。 | ||
| 搜索关键词： | 反射层 氧化层 垂直腔面发射激光器 透光区域 激光腔 基板 上部电极 源层 相隔 包围 | ||
【主权项】：
1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：/n基板；/n下部反射层，其布置于所述基板上；/n激光腔，其布置于所述下部反射层上，并且包括有源层；/n氧化层，其布置于所述激光腔上；/n上部反射层，其布置于所述氧化层上；/n多个第一孔，其形成于所述上部反射层和所述氧化层；以及/n上部电极，其布置于所述多个第一孔的内部和所述上部反射层上，/n所述氧化层包括相隔开布置的多个透光区域，/n所述多个第一孔在平面上以包围所述透光区域的方式布置。/n
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